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YJ-VS-1型单人垂直超净工作台

YJ-VS-1型单人垂直超净工作台采用节能型顶置式变风量送风系统,配以高性 能,长寿命的高效空气过滤器,过滤效率为≥99.995%,(钠焰法)尘埃粒径≥ 0.5μm,保证作业空间达到美联邦标准209E(百级净化标准)。
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微电子光刻实验净化工作台设计

更新时间:2013.12.30   来源:净化工作台   浏览次数:

摘要:提出了一种导流分压式双正压净化工作台。分析了该工作台的结构特征及工作原理。通过与常规垂直层流净化工作台的比较及实验结果分析,指出了该产品的经济性、优越性及应用前景。

众所周知,净化工作台是一种创造局部100级无尘、无菌环境的理想设备。它移动灵活、操作简单,被广泛地用于电子、航空航天、精密机械、生物工程、医疗、制药及无菌检验等多个领域。在大学物理、电子及化学、生物等多个学科实验中,净化工作台发挥了十分重要的作用。特别是半导体物理、微电子等实验,需要高洁净度的实验环境才能完成实验内容。但是,普通的净化工作台在完成这些实验中是不十分适用的。这主要表现在两个方面:一是在实验中会由于实验人员实验操作而带入大量的灰尘颗粒,影响了净化工作台的净化级别;二是在涉及大量化学试剂的实验中,如果使用的化学试剂和药品具有一定的挥发性和毒性,如微电子实验中的光刻胶、去胶剂等,现有的净化工作台基本上无法阻止这些有毒化学药剂向大气中扩散,这给实验人员带来了身体上的伤害。

为了解决以上两个问题,一种新型净化工作台被设计出来。制作完成后,实验表明,该净化工作台可以有效地阻挡有毒化学物质,减少实验人员带入工作台工作区的灰尘颗粒数量,改造成本极为低廉几乎不增加任何制造成本。

一般净化工作台由箱体、初效过滤器、通风机、高效过滤器和作业区等组成。室内空气在通风机的强制作用下,经初效过滤器过滤后,由风机压至高效过滤器,滤清后的洁净空气呈垂直层流状送至作业区。
被送入作业区的气体,一般可以采用两种方式流出:一是通过敞开的工作面直接排放到大气中,这样实验操作人员将迎面被操作台中的气体吹到,如果气体带有毒性,将对实验人员造成伤害;二是通过操作台面下端出气,一般用抽风机来提高气体的流出效率。但是,这可能会在作业区中吸入外界空气,对作业区的洁净度产生不良影响。特别是在操作过程中,由操作人员带入的灰尘颗粒容易残留在作业区中。


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