微电子光刻实验净化工作台设计

摘要：提出了一种导流分压式双正压净化工作台。分析了该工作台的结构特征及工作原理。通过与常规垂直层流净化工作台的比较及实验结果分析，指出了该产品的经济性、优越性及应用前景。

众所周知，净化工作台是一种创造局部100级无尘、无菌环境的理想设备。它移动灵活、操作简单，被广泛地用于电子、航空航天、精密机械、生物工程、医疗、制药及无菌检验等多个领域。在大学物理、电子及化学、生物等多个学科实验中，净化工作台发挥了十分重要的作用。特别是半导体物理、微电子等实验，需要高洁净度的实验环境才能完成实验内容。但是，普通的净化工作台在完成这些实验中是不十分适用的。这主要表现在两个方面：一是在实验中会由于实验人员实验操作而带入大量的灰尘颗粒，影响了净化工作台的净化级别；二是在涉及大量化学试剂的实验中，如果使用的化学试剂和药品具有一定的挥发性和毒性，如微电子实验中的光刻胶、去胶剂等，现有的净化工作台基本上无法阻止这些有毒化学药剂向大气中扩散，这给实验人员带来了身体上的伤害。

为了解决以上两个问题，一种新型净化工作台被设计出来。制作完成后，实验表明，该净化工作台可以有效地阻挡有毒化学物质，减少实验人员带入工作台工作区的灰尘颗粒数量，改造成本极为低廉几乎不增加任何制造成本。

一般净化工作台由箱体、初效过滤器、通风机、高效过滤器和作业区等组成。室内空气在通风机的强制作用下，经初效过滤器过滤后，由风机压至高效过滤器，滤清后的洁净空气呈垂直层流状送至作业区。
被送入作业区的气体，一般可以采用两种方式流出：一是通过敞开的工作面直接排放到大气中，这样实验操作人员将迎面被操作台中的气体吹到，如果气体带有毒性，将对实验人员造成伤害；二是通过操作台面下端出气，一般用抽风机来提高气体的流出效率。但是，这可能会在作业区中吸入外界空气，对作业区的洁净度产生不良影响。特别是在操作过程中，由操作人员带入的灰尘颗粒容易残留在作业区中。